●同クラス最小のコンパクト設計。
●220ｍｍの作動距離を確保。非常に優れた作業性。ピックアップや搬送式の装置に最適。
●0.2倍時の広視野でも均一な同軸落射照明により光量ムラを極限まで抑えています。
●ズーム方式は、上記ステッピングモーター搭載の電動式。マニュアル式もラインアップ。
●シリコンウェハ、大型基板等、チップの認識・検査。
型名
TLZ0208C-SM
TLZ0220C-SM
倍率
0.2×〜0.8×
0.2×〜2.0×
ＷＤ
220ｍｍ
227ｍｍ
分解能
21μ〜9.1μ
22.4μ〜7.6μ
被写界深度
0.016〜0.037
0.015〜0.044
ＮＡ
12.9ｍｍ〜1.3ｍｍ
13.1mm〜0.45mm
ＴＶディストーション
−0.08%〜0.01％
−0.16%〜0.16％
イメージサイズ
1/2インチ
1/1.8インチ
