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定焦鏡頭
HF-UV 系列

支援UV波長超高解析度定焦鏡頭

【 f=16mm 】【 f=25mm 】【 f=35mm 】
【 f=50mm 】【 f=100mm 】

保持紫外線～可視光間廣幅穿透特性與高度解析功能
對檢查矽晶圓、IC晶片等細微瑕疵與凹凸有效
具有檢出在可視光中難以判別的薄膜等的效果

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