ラージフォーマットで高解像、 広視野をターゲットとした案件に最適
広視野ターゲットを高解像度で一括に取得可能
微細な欠陥を検出する超高精細検査に性能を発揮
200万画素以上のセンサーに対応する解像力
高画素カメラとの組み合わせに最適 コンパクト且つ耐振性にも優位
高画素カメラとの組み合わせに最適 コンパクト且つ耐振性にも優位
短いOIを要求されるデバイスに最適な ショートWD40mmのテレセントリックレンズ
短いOIを実現したミドルWD65mmのテレセントリックレンズ
使い易いWD110mmのテレセントリックレンズ ワークが長く、また小型のためカスタム光学系に最適
ロングWDながら小型、高性能を実現
真空チャンバー、高温サンプルなどロングワークが 必要な案件に最適
長作動域でターゲットを高精度に検出